|
首 页
|
资讯中心
|
科学研究
|
群英聚首
|
会展信息
|
产业发展
|
新闻
|
学术会议
|
学科简介
|
学者介绍
|
论文
|
专家学者-个人网站
|
研究成果与合作
|
招聘
|
基金申请专题
搜索:
请选择分类
表征技术
学科简介
学术论文
科教新闻
学者介绍
研究群体
学科综述
|
高分子化学
|
高分子物理
|
高分子工程
|
通用高分子
|
功能高分子
|
分子表征
|
结构表征
|
性能表征
|
模拟技术
您所在的位置:
首页
>
科学研究
>
学术论文
> SiNx:H 膜沉积气体压力与热处理温度的匹配性研究
SiNx:H 膜沉积气体压力与热处理温度的匹配性研究
SiNx:H 膜沉积气体压力与热处理温度的匹配性研究
资料类型:
PDF文件
关键词:
sinx:h
膜
钝化
热处理
多晶硅太阳电池
资料大小:
240K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺在多晶硅片上生长SiNx:H膜,研究了不同反应气体压力对SiNx:H膜层性能的影响,以寻求SiNx:H膜光学性能和钝化效果之间的平衡关系。在气体压力为0.25Pa时,SiNx:H膜的折射率和钝化效果均达到理想的范围,并经840℃热处理后钝化效果得到进一步提高,与烧结工艺温度相匹配。气体压力0.25Pa条件下沉积的SiNx:H膜制成太阳电池后开路电压和短路电流最高,电池性能最佳。
作者:
柳翠,龚铁裕,许瑞峰,黄勋骅,袁晓,汪乐
上传时间:
2008-08-12 16:11:14
下载次数:
45
消耗积分:
2
立即下载:
好
1人
中
1人
差
1人
友情提示:
下载后对该资源进行评论,即可奖励
2
分。
报告错误:
1.下载无效
2. 资料明显无价值
3. 资料重复存在
相关评论
共有
0
人发表评论
更多评论
你还没有登录,无法发表评论,请首先
免责声明:本站部分资源由网友推荐,来自互联网,版权属于原版权人,如果不慎侵犯到您的权利,敬请告知,我们会在第一时间撤除。本站中各网友的评论只代表其个人观点,不代表本站同意其观点。
最新上传资料
·
可调的透明导电膜研究进展
·
电子纸显示ITO电极保护层研究及...
·
THz量子级联激光器的材料生长和...
·
退火条件对纳米ZnO 电致发红-橙...
·
无机薄膜电致发光器件中绝缘层材...
·
稀土掺杂氮化镓的发光机理、制备...
·
p-Si TFT栅绝缘层用SiN薄膜的...
·
不同微观形貌所引起的聚二氧乙撑...
·
具有双掺杂发射层白光OLED器件...
·
新型双向传输型区域规整噻吩嵌段...
·
树枝状8-羟基喹啉锌的合成和荧光...
·
梯度掺杂LiF提高电子注入与传输...
·
喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3:E...
更多>>
热点资料
·
剪切增稠液体的制备及其性能表征
·
Li4Ti5O12/C 复合负极材料的一...
·
有机光电导电材料PEDOT-PSS薄...
·
多孔吸声材料发展现状与展望
·
相变恒温材料六水氯化钙的研究
·
玻璃纤维增强阻燃PC/ABS 合金性...
·
木质素的结构及其改性研究进展
·
有机太阳能电池ITO 电极的光刻...
·
蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研...
·
TiO2 介孔光催化剂的制备研究进...
·
固体表面润湿性机理及模型
·
陶瓷坯釉料配方优化系统的设计
·
微晶纤维素的制备及性质研究
更多>>
相关资料
·
凝固浴对聚芳硫醚砜(PASS)分离...
·
拉伸法制备聚烯烃微孔膜
·
离子凝胶相分离调控制备聚乳酸纳...
·
有机硅热塑性弹性体的合成及应用
·
利用多重相转变制备高水通量聚乙...
·
熔体拉伸高密度聚乙烯微孔膜一·...
·
SBS/多层共挤膜废料复合改性沥...
更多>>
互联网站:
中国塑料技术网
|
中国流变网
|
中国化学仪器网
|
化学化工论坛
-
关于我们
-
网站导航
-
商业合作
-
诚聘英才
-
广告服务
-
服务条款
-
建议投诉
-
亚博体育
-
友情链接
Copyright © 2007 Polymer.cn All rights reserved 中国聚合物网 版权所有
本网站所刊登的各种新闻、信息和各种专题专栏资料,未经协议授权,禁止下载使用。
赌博网站
实博
永利博彩
棋牌娱乐
南昌二手房网
私人飞机网
宏强科技
LAUNCH
体育投注平台
中国石油天然气集团公司考试中心
中影国际影城
立博博彩
南京国际博览中心
十大赌博网站
PG电子平台
亚洲博彩平台排名
彩票平台
BG体育
赌博论坛
中国钢材价格网
老板电器官方购物网
吉美思
17173九阴真经OL专区
中国江苏网娱乐频道
驾照网
broadcast:播
谷网
肇庆学院招生办
我爱菜园
瓯网
鲸派网
驱动中国手机频道
鲁大师官方论坛
商丘师范学院教务网络管理系统
站点地图